Nature子刊重磅!国内首款量子点红外成像芯片!

红外成像技术最开始起源于军用,后来逐渐转飞入寻常百姓家,在机器视觉、安防和生物成像等新兴领域大有用途,目前电子消费品领域广泛使用了该技术,尤其是手机夜间拍摄。
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传统红外成像仪由光电探测器+硅基读出集成电路组成,这两部分互联时需要复杂且苛刻的工艺,导致成本大、大规模生产困难,要想在智能手机等消费电子产品中使用,就得探索低成本的新材料、新方法、新工艺。
2022年6月16日,华中科技大学唐江教授团队在Nature Electronics 期刊上发表文章:A near-infrared colloidal quantum dot imager with monolithically integrated readout circuitry。
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这个工作除了华科团队,还受到了海思(华为)公司的支持。如下图,他们制备出了国内首款硫化铅胶体量子点红外成像芯片。

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新材料

这个工作采用了溶液可制备的PbS胶体量子点做为红外光的响应材料,这和商用的InGaAs、InSb、HgCdTe光电探测器相比制备更加简单、成本低、且带隙可调,下图中的PbS量子点光谱响应范围为400-1300 nm。

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新方法

难题:传统的PbS量子点器件是从底部入射光,这种器件结构不适配硅基读出集成电路,因为其耗尽区远离入射光,导致器件外量子效率低。

解决:为了实现顶部入射光的有效吸收和信号采集,设计出了下图红外成像仪结构:将光敏量子点红外器件直接集成到读出集成电路上顶部采用透明导电氧化物这样还避免了繁琐的互联工艺。通过模拟和实验优化,使得耗尽区靠近入射光,提高载流子的分离与收集效率,从而提升器件性能。
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新工艺

问题:上述顶部入射的量子点光电二极管性能较差,这可能是由于在顶部沉积高质量的透明电极时,容易破坏底部脆弱的量子点层。

解决:由于在ZnO溅射过程中会破坏PbS活性层,作者引入 C60界面钝化层来降低界面缺陷,经过对C60层的精心优化,NiOx/PbS/C60/ZnO光电二极管显示出良好的光响应,缺陷浓度降低至2.3×1016 cm−3。该量子点光电探测器室温探测率为2.1×1012Jones,外量子效率为63%,-3dB带宽为140kHz,线性动态范围超过100dB。
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基于上述最优器件,创建了大型近红外成像仪(640×512像素),其空间分辨率为40 lp/mm,调制传递函数为50%,具有可与商用 InGaAs 成像芯片媲美的效果。
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如下图,拍摄苹果,发现PbS成像仪捕捉红外图像的能力弥补了硅成像仪难以识别的额外信息;与商用InGaAs相比,PbS红外成像仪在静脉边缘的灰度变化更明显、更清晰,在静脉成像方面显示出更大的应用潜力;PbS红外成像仪在水和乙醇的鉴别方面优于InGaAs成像仪。
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这个工作开创了国内量子点红外成像芯片的先河,量子点波长可调,可以做出波长可调的红外探测芯片,未来大有可为!

作者介绍

Nature子刊重磅!国内首款量子点红外成像芯片!

唐江,华中科技大学武汉光电国家研究中心教授,博士生导师,光学与电子信息学院院长,科睿唯安高被引作者。一直从事新型光电转换材料与器件研究,发表学术论文200余篇,其中以第一或者通讯作者身份发表Nature 1篇,Nature Photonics 3篇,Nature Materials 和Nature Energy 各1篇,被引用25000余次;授权中国发明专利30余项。目前的主要研究方向是量子点红外探测芯片、卤素钙钛矿X射线探测器、卤素钙钛矿发光材料与器件、硒化锑薄膜太阳能电池,每个方向都硕果累累!
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参考资料

1. https://doi.org/10.1038/s41928-022-00779-x

2. https://mp.weixin.qq.com/s/UMNyGUWC9sLma86QaRicjg
3. http://tfsc.wnlo.hust.edu.cn/info/1041/1063.htm

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