《自然》:史志文团队与合作者实现氮化硼层间嵌入式生长单一手性超长石墨烯纳米带

北京时间2024年3月28日,上海交通大学史志文教授课题组与合作者在Nature上发表题为“Graphene nanoribbons grown in hBN stacks for high-performance electronics”的研究论文。

该研究利用化学气相沉积,成功实现了单手性超长超窄石墨烯纳米带在氮化硼晶体层间的嵌入式生长,并演示了这种纳米带可用于高性能场效应晶体管器件。

《自然》:史志文团队与合作者实现氮化硼层间嵌入式生长单一手性超长石墨烯纳米带
石墨烯是一种由单层碳原子以蜂窝状排列而成的二维晶体。自2004年首次被发现以来,石墨烯一直是科学研究的前沿和热点。作为未来电子器件的重要候选材料,尽管石墨烯具有超高的载流子迁移率,但是由于本征二维石墨烯没有带隙,难以直接用来制作晶体管器件。相比之下,准一维的石墨烯纳米带(GNR)具有因量子限域效应打开的带隙,可用来解决这一问题。理论上,亚5纳米宽的超窄GNR具有制作晶体管器件所需的带隙,而且载流子迁移率可达单晶硅的十倍(~10,000 cm2V–1s–1),是未来集成电路的理想材料。然而以往实验报道的GNR场效应晶体管的迁移率远低于理论预测。这种差异主要来源于GNR样品制备和器件加工等过程中引入的晶格缺陷、应变、表面粗糙度、物理和化学吸附、以及衬底中电荷杂质等无序效应。由于准一维GNR的低维属性,其电子性质很大程度上取决于样品质量,以及表面和边缘结构,这种无序效应的影响更加显著,极大的降低了其优异的电学性能。

为了提高低维材料器件的性能,人们尝试了多种方法来减少无序效应,包括:热退火、等离子体处理、原子力显微镜表面清洁、氮化硼封装、悬浮器件制备等等。迄今为止最成功的方法是六方氮化硼(hBN)封装法。氮化硼是一种原子级平整的宽带隙二维层状绝缘体。多项实验表明被封装的二维材料器件表现出超高电荷均匀性、超高载流子迁移率和亚毫米级平均自由程。然而,由于这种机械封装的效率较低,而且只能用来制备微米级尺寸的样品,因此目前仅用于科研领域,难以满足未来先进微电子产业的需要。

针对这一问题,上海交通大学史志文教授团队开发出一种全新的制备方法,实现了GNR在hBN层间的嵌入式生长,而且样品质量极高。研究发现,这种GNR具有多种优异的结构特征,包括统一的zigzag手性结构,小于5纳米的宽度,以及亚毫米量级的长度。这些结构特征主要来源于hBN层间沿zigzag方向的超润滑特性(近零摩擦损耗)。由于这种高质量GNR在生长的同时就被氮化硼“原位封装”,其结构和性质可以免受外界环境因素和微纳加工的影响,GNR场效应晶体管展现出优异的性能:载流子迁移率达4,600 cm2V–1s–1,开关比可达106。亚阈值摆幅约100 mV dec–1等。

层间石墨烯纳米带的生长是通过一种纳米颗粒催化的化学气相沉积(CVD)实现的。如图一(a)所示,实验中,催化剂纳米颗粒会在高温作用下运动并附着在hBN的边缘和台阶处。在这里,甲烷分子会在催化剂表面裂解并产生碳原子,随后这些碳原子会溶解到纳米颗粒中。当纳米颗粒中的碳含量达到一定的过饱和度后,GNR会在颗粒表面形核同时嵌入hBN的层间。这些一维GNR结构可以直接通过扫描电子显微镜(SEM)观察到。通过扫描透射电子显微镜(STEM)拍摄的截面图像表明,镶嵌在hBN层间的GNR宽度只有3-5纳米(图一(d)),这也预示着GNR可能具有较大的带隙。层间GNR和hBN的原子结构十分清晰,与理论计算结果完美吻合。

《自然》:史志文团队与合作者实现氮化硼层间嵌入式生长单一手性超长石墨烯纳米带
图一:石墨烯纳米带层间嵌入式生长的示意图和电子显微镜表征。

在层间生长的GNR的长度可达亚毫米量级,远大于以往报道的结果以及在hBN表面生长的结果。结合其亚5纳米的宽度,层间GNR的长宽比达到了105,比以往的结果高出至少两个数量级。更重要的是,层间GNR的手性结构十分统一:绝大多数为锯齿型(zigzag) GNR。统计结果表明,zigzag GNR纯度随长度上升,长度在20微米以上的GNR都为zigzag手性。这种GNR长度与手性结构的关系预示着在生长过程中zigzag GNR会被逐渐筛选出来,因此层间纳米带的生长机理值得进一步深入研究。

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图二:手性统一的超长石墨烯纳米带。

为了揭示氮化硼层间超长zigzag GNR的生长机理,史志文教授团队与武汉大学欧阳稳根教授团队、特拉维夫大学Michael Urbakh教授团队、深圳先进技术研究院丁峰教授团队的密切合作,发现层间超长zigzag GNR的形成是hBN层间超润滑特性(近零摩擦损耗)的结果。

在生长过程中,GNR会在生长驱动力的作用下不断嵌入到hBN层间,其中涉及GNR与hBN之间的相对滑移以及GNR和hBN的不断形变。研究人员基于前期开发的针对层状材料的计算方法,对GNR在hBN的层间滑移过程进行了精细的分子动力学模拟(图三(a-f))和第一性原理计算(图三(g))。

结果表明,施加相同大小的推力,zigzag GNR插入hBN层间的长度最大,扶手椅型(armchair) GNR次之,hBN表面上的GNR运动距离最短。进一步的机理分析发现GNR在hBN表面的滑移势能面中仅存在局域化的低能区,GNR滑动时必须越过较大的能垒,从而导致了可观的能量耗散和较大的摩擦力;而GNR在hBN层间的滑移势能面中存在连续的低能谷,沿着连续低能谷GNR可以进行近乎无摩擦的滑动。上述分析很好的解释了层间GNR的长度远大于在hBN表面上的生长结果。此外, 在沿着连续低能谷进行滑动时,armchair和zigzag GNR都会发生一定的侧向位移,而连续低能谷位置的差异使得armchair GNR发生的侧向位移显著大于zigzag GNR,且第一性原理计算结果表明armchair GNR嵌入导致的hBN在垂直方向弯曲的形变能也比zigzag GNR更大。这些结果也很好的解释了层间嵌入式生长对GNR手性的选择性。

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图三:石墨烯纳米带的层间生长机理。

氮化硼层间生长的超长zigzag GNR可直接用来制备高性能电子器件。由于器件的GNR沟道被绝缘hBN保护,因此免受加工过程中氧化、环境污染和光刻胶接触的影响。为了证实这一点,研究人员基于层间生长的GNR制备了场效应晶体管(FET)器件,并对器件性能进行了测试。测量结果表明,GNR器件都表现出典型的半导体器件的输运特性。在室温下,器件的开关比可达106。更值得关注的是,器件的载流子迁移率高达4,600 cm2V–1s–1,是目前在超窄纳米带中实现的最高纪录。这些出色的性能说明层间GNR有望在将来的纳米电子器件中扮演重要的角色。

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图四:基于层间纳米带的高性能场效应晶体管。

该研究项目由上海交通大学史志文教授和吕博赛博士发起,由国内外多个研究团队合作完成。论文共同第一作者为上海交通大学物理与天文学院吕博赛、陈佳俊、娄硕、沈沛约、谢京旭、武汉大学王森和韩国蔚山国立科学技术学院的邱璐和Izaac Mitchell。共同通讯作者为史志文教授、特拉维夫大学Michael Urbakh教授、深圳先进技术研究院丁峰教授和武汉大学欧阳稳根教授。论文的合作者还包括上海交通大学王世勇教授、李听昕教授、陈国瑞教授、王孝群教授、贾金锋教授、梁齐教授、李灿博士、胡成博士、周先亮,以及特拉维夫大学Oded Hod教授,日本国立材料研究所Kenji Watanabe教授和Takashi Taniguchi教授。本工作所涉及TEM表征在上海交通大学分析测试中心完成,器件加工在上海交通大学物理与天文学院微纳加工平台完成,计算模拟主要在武汉大学超算中心和国家天河超算中心完成。本工作得到科技部、自然科学基金委的资助,在此深表感谢。

编辑 | 张可

排版 | 夏天

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